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摘要：阐述MEMS加速度传感器和压电式加速度传感器的原理，包括压阻式和电容式的加速度传感器、探讨失效模式、失效机理，给出避免失效的方法。

关键词： 加速度传感器;失效模式;结构分析;

专辑： 信息科技

专题： 自动化技术

分类号： TP212

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